ยี่ห้อ/รุ่น

หน่วยงาน / สถาบัน มหาวิทยาลัยเชียงใหม่

วัตถุประสงค์การใช้งาน 1. การสังเคราะห์ฟิล์ม TCO ด้วยพลาสมาที่อุณหภูมิต่ำ 2. การสังเคราะห์ฟิล์มโลหะและฟิล์มบาง 3. การเคลือบหลายเฟส 4. การประยุกต์ใช้งานด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์

ประวัติการประยุตก์ใช้ด้านงานวิจัย 1. การเคลือบฟิล์บางบนผิววัสดุเพื่อยับยั้งเชื้อจุลินทรีย์ 2. การเคลือบฟิล์มบางเพื่อปรับปรุงคุณสมบัติการเกิดไฟฟ้าสถิตย์