เครื่องมือ (Equipment)
3D Magnetron Sputtering System
ศูนย์วิจัยเชิงธุรกิจด้านเทคโนโลยีพลาสมาสำหรับเกษตรและชีวภาพ (ABPlas) อุทยานวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี มหาวิทยาลัยเชียงใหม่
เชียงใหม่
สถานภาพ
ยังไม่เปิดให้บริการแก่บุคคลภายนอก
ห้องปฏิบัติการ
ศูนย์วิจัยเชิงธุรกิจด้านเทคโนโลยีพลาสมาสำหรับเกษตรและชีวภาพ (ABPlas)
ค่าบริการต่อครั้ง/THB
-
ผู้ดูแลเครื่องมือ
Device Administrator
| ลำดับ | ชื่อ - นามสกุล | เบอร์โทรศัพท์ |
|---|---|---|
| 1 | นางสาวกรรณิการ์ แก้วอาภัย | 086-9361486 |
ข้อมูลเครื่องมือ
Equipment Information
ยี่ห้อ/รุ่น
หน่วยงาน / สถาบัน มหาวิทยาลัยเชียงใหม่
วัตถุประสงค์การใช้งาน 1. การสังเคราะห์ฟิลม์บางของ TCO ด้วยพลาสมาที่อุณหภูมิต่ำ 2. การสังเคราะห์ฟิล์มบางและฟิล์มโลหะ 3. การประยุกต์ใช้งานในด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์
ประวัติการประยุตก์ใช้ด้านงานวิจัย -
Tag :