ยี่ห้อ/รุ่น

หน่วยงาน / สถาบัน มหาวิทยาลัยเชียงใหม่

วัตถุประสงค์การใช้งาน 1. การสังเคราะห์ฟิล์มบางชนิดไดอิเล็กทริก เช่น ซิลิกอนไนไตรด์ที่เติมไฮโดรเจน (SiNx) และอะลูมิเนียมออกไซด์ (AlOx) ที่อุณหภูมิต่ำ 2. การประยุกต์ใช้งานในด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์

ประวัติการประยุตก์ใช้ด้านงานวิจัย 1. การเคลือบฟิล์มเพื่อเพิ่มความแข็งของมีดผ่าตัด