งานวิจัย (Publications)

รายละเอียดงานวิจัย

Publication Details

Publication Name Redeposition-free of silicon etching by CF4 microwave plasma ina medium vacuum process regime

First Author Pakpum, C.

Author Prof. Dr.Dheerawan Boonyawan,

Corresponding Author Pakpum, C.

Year2020

JournalSurface and Coatings Technology
 Web Resources :

https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85086068373&origin=inward&txGid=4c3102d6cff272eb25c688676241f428

Shopping Cart
Scroll to Top

เราใช้คุกกี้เพื่อพัฒนาประสิทธิภาพ และประสบการณ์ที่ดีในการใช้เว็บไซต์ของคุณ คุณสามารถศึกษารายละเอียดได้ที่ นโยบายความเป็นส่วนตัว และสามารถจัดการความเป็นส่วนตัวเองได้ของคุณได้เองโดยคลิกที่ ตั้งค่า

Privacy Preferences

คุณสามารถเลือกการตั้งค่าคุกกี้โดยเปิด/ปิด คุกกี้ในแต่ละประเภทได้ตามความต้องการ ยกเว้น คุกกี้ที่จำเป็น

Allow All
Manage Consent Preferences
  • คุกกี้ที่จำเป็น
    Always Active

    ประเภทของคุกกี้มีความจำเป็นสำหรับการทำงานของเว็บไซต์ เพื่อให้คุณสามารถใช้ได้อย่างเป็นปกติ และเข้าชมเว็บไซต์ คุณไม่สามารถปิดการทำงานของคุกกี้นี้ในระบบเว็บไซต์ของเราได้
    Cookies Details

  • Analytics Cookies

    คุกกี้ที่รวบรวมข้อมูลเชิงสถิติทั้งหมดไว้ เพื่อปรับปรุงการนำเสนอ และการนำทางของไซต์
    Cookies Details

Save